TURBOVAC i磁懸浮分子泵結(jié)合了磁懸浮軸承（高真空側(cè)）和陶瓷滾珠軸承（前級(jí)真空側(cè)）技術(shù)，適用于高真空（HV）和超高真空（UHV）應(yīng)用，如半導(dǎo)體、科研、鍍膜、分析儀器等領(lǐng)域。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2025-10-17
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產(chǎn)品詳情/ PRODUCT DETAIL

標(biāo)題：TURBOVAC i磁懸浮分子泵

產(chǎn)品概述

TURBOVAC i磁懸浮分子泵TURBOVAC i 系列具有混合轉(zhuǎn)子軸承：前級(jí)真空側(cè)的軸承是終生潤(rùn)滑的陶瓷滾珠軸承，高真空側(cè)的軸承為不磨損的磁浮軸承。

所有這些類(lèi)型的軸承通常都無(wú)需任何潤(rùn)滑油（在泵靜止的條件下，由于沒(méi)有任何抽吸作用，潤(rùn)滑油可能會(huì)擴(kuò)散回真空室）。

由于渦輪分子泵不能直接在大氣壓下壓縮，因此它們始終需要一個(gè)額定值足夠的前級(jí)真空泵來(lái)運(yùn)行，而我們正好也提供這種泵。根據(jù)流量和終壓要求，我們提供不同的前級(jí)真空泵來(lái)滿(mǎn)足您的系統(tǒng)要求。

TURBOVAC i磁懸浮分子泵采用混合軸承系統(tǒng)：

高真空側(cè)：磁懸浮軸承（無(wú)機(jī)械接觸，無(wú)磨損，免維護(hù)）。

前級(jí)真空側(cè)：陶瓷滾珠軸承（終生潤(rùn)滑，可現(xiàn)場(chǎng)更換）。

氣體通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片（3000~60000 RPM）被壓縮，實(shí)現(xiàn)高真空抽氣。

分子泵設(shè)計(jì)理念

萊寶真空針對(duì)不同應(yīng)用提供基于不同軸承和轉(zhuǎn)子技術(shù)的渦輪分子泵。如TURBOVAC系列機(jī)械軸承標(biāo)準(zhǔn)分子泵；TURBOVAC MAG系列磁懸浮軸承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵僅在排氣端配置脂潤(rùn)滑軸承，高真空端配置免維護(hù)的永磁軸承）。萊寶真空的分子泵均不采用油潤(rùn)滑軸承可以從理論上完*避免分子泵對(duì)腔體產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴静⑶冶ＷC所有分子泵均可以任意角度安裝。

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